硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响

• 作者: 亢若谷 史冰川 李昆 董俊 邱建备 黄磊
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅芯 杂质分凝 杂质挥发 坩埚污染
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 热点评述
• 页码范围: 513-516,485
• 分类号: O77|TN304.05
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.03.037

摘要

本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术.简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较.根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献.