基于一种新沟槽设计的无缝隙沟槽隔离技术

• 作者: 周思渊 李光涛 李端松 田铭
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 深沟槽 隔离 倒梯形 无缝隙 微机械加工工艺
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 340-344
• 分类号: TN305.95
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.05.011

摘要

为了避免深沟槽隔离过程中出现缝隙,提出了一种有利于多晶硅回填的倒梯形沟槽.这种沟槽的开口处宽度比底部宽度大,使用了一种优化的微机械加工工艺,利用各向同性刻蚀形成了一种倒梯形沟槽.另一方面,对于填充效果而言,完全光滑过渡的曲线型沟槽好于具有尖锐转角的曲线型沟槽.相比于直线型沟槽,完全光滑过渡的曲线型沟槽可以提高机械连接强度.通过使用新的沟槽设计以及优化的微机械工艺,可以获得无缝隙的深沟槽,最终实现了一种无缝隙的沟槽隔离,保证了两个可动结构之间或一个可动结构和一个固定结构之间的电绝缘.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李光涛		1	0	0.0	0.0
2	田铭		2	0	0.0	0.0
3	周思渊		1	0	0.0	0.0
4	李端松		2	1	1.0	1.0