平行束磁透镜的研究

• 作者: 孙雪平 彭立波 胡振东
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 磁透镜 平行束 离子注入
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1490字
• 语种: 中文

摘要

离子注入机单纯的静电扫描造成注入角度的不一,已经不能满足器件性能的一致性要求,所以产生平行的离子束就很重要,为此介绍一种均匀磁场下的平行束磁透镜,可以产生近似平行的离子束;获得离子束的平行度小于0.43°,满足大规模集成电路制造生产线的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭立波	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	5	2.0	2.0
2	孙雪平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	3	1.0	1.0
3	胡振东	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	0	0.0	0.0