多晶硅 CVD 反应器中新型热管的开发与仿真

• 作者: 张灿 李文艳 王晓静 马东云
• 来源期刊: 压力容器
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 CVD反应器 热管 有限元 CFD
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 页码范围: 13-19,26
• 页数: 8页
• 分类号: TH49|TQ051.5|TB115.1
• 字数: 4678字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4837.2016.08.003

摘要

基于已有的新型多晶硅 CVD 反应器，设计出有利于获得理想速度场和温度场的特殊热管结构，并对其进行了有限元强度分析和结构改进。对不同壁面发射率和不同壁面温度的热管进行了CFD 仿真，计算得出：随着热管壁面温度的升高，多晶硅还原炉内环境温度也随之升高，但是多晶硅棒的总能耗与辐射能耗却随之降低；壁面温度从423 K 上升至623 K 时，硅棒总能耗和辐射能耗分别下降了2．84％和3．87％；随着发射率的降低，多晶硅还原炉内的环境温度、硅棒总能耗和辐射能耗都呈现下降趋势；硅棒的总能耗和辐射能耗分别下降了21．75％和24．42％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓静	天津大学化工学院	73	239	7.0	12.0
2	李文艳	天津大学化工学院	6	94	4.0	6.0
3	马东云	天津大学化工学院	5	8	2.0	2.0
4	张灿	天津大学化工学院	6	37	3.0	6.0