微小型静电泵的设计(1)

• 作者: 刘远鹏 孙冰 田丰 高金雍 齐景爱
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 微阀 微型静电泵 激励电压 压力 流量 薄膜 变形挠度 刚度 张应力
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TH38
• 字数: 2252字
• 语种: 中文

摘要

介绍了微小型静电泵工作原理,分析了上腔充压的静电泵阀腔的形状与结构、所加激励电压、可动薄膜面积与厚度对泵的压力、流量、受力和变形的影响,提出了一套完整的数据图标和表格,例如激励敏感膜片的绕度及相应鼓起的体积、膜上所承担压力及其所受的径向应力与泵的半径和膜厚的关系图、表,以便选用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高金雍		25	83	5.0	6.0
2	齐景爱		30	76	5.0	7.0
3	孙冰		12	46	4.0	6.0
4	田丰		20	35	4.0	4.0
5	刘远鹏		8	19	3.0	4.0