GEM标准在CMP系统上的应用

• 作者: 张克佳 袁丁
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 国际半导体设备与材料产业协会的设备通信标准(SECS) 工厂设备通信与控制通用标准(GEM) 化学机械抛光(CMP) 工厂自动化
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 794字
• 语种: 中文

摘要

以当代最先进的自动化工厂(FA )走势为依据，结合化学机械抛光(C M P)系统的实际应用需求，提出了解决工业自动化通信协议SEC S\G EM 的应用问题。叙述了G EM 的通信状态、控制状态和实现G EM 的设计思路，并举例说明了G EM 中的消息配方。实践表明，我国自动化设备领域对G EM 的需求是非常迫切的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁丁	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	1	1.0	1.0
2	张克佳	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	1	1.0	1.0