基于CMOS－MEMS工艺的小量程电容式压力传感器设计

• 作者: 刘雨涛 张瑞 梁庭 熊继军 王心心 王涛龙 贾平岗
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 小量程 电容式 CMOS-MEMS 压力传感器
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: ? 传感器技术?
• 页码范围: 19-21,32
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3057字
• 语种: 中文

摘要

小量程压力传感器研制的主要目的是解决低压环境下的压力测量问题。结合CMOS－MEMS技术，提出了一种小量程电容式压力传感器设计方案。利用ANSYS软件分析了传感器压敏结构的静力学性能和动力学性能，验证了理论设计的可行性。传感器可动上极板厚度仅为3μm，提高了小量程压力测量时的灵敏度，可以测量1～50 kPa范围内的压力。研究了制备工程中的关键工艺，介绍了传感器芯片的加工流程。所设计的传感器制作简单，成本低廉，易于单片集成，拓展了MEMS压力传感器的小量程应用领域。