ADT 7100砂轮划片机工作台与刀盘座的参数分析

• 作者: 吴文涛 徐磊 王振亚 贾洁
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 划片机 工作台 刀盘座
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 1844字
• 语种: 中文

摘要

对于金刚石砂轮划片机,工作台与刀盘座的质量和它们之间定位对划片质量有着重要的影响.基于以色列ADT公司的产品ADT7100划片机,介绍了工作台的平面度、刀盘端面的跳动误差以及刀盘端面与X轴的平行度等参数,分析了这些参数对划片质量和砂轮刀的影响;并结合实际,提出了针对这些参数的测量方法和超过标准的解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王振亚		4	2	1.0	1.0
2	徐磊		2	2	1.0	1.0
3	吴文涛		2	2	1.0	1.0
4	贾洁		3	3	1.0	1.0