梳齿式静电微驱动器稳定性分析与结构优化

• 作者: 单体强 周晓东 范志锋 齐杏林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电微驱动器 稳定性 弹性支撑机构 梳齿结构 静电力模型
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 449-455,472
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.07.005

摘要

针对典型梳齿式静电微驱动器驱动稳定性差的问题,建立微驱动器驱动稳定性分析模型,系统分析微驱动器驱动稳定性随其各结构参数的变化关系,提出基于稳定性因子的微驱动器驱动稳定性评估方法.提出弹性支撑机构外置方案,建立弹性梁非线性特征模型,基于模型分析结果设计预弯弹性梁结构,建立基于梳齿结构参数的静电力模型,研究不同梳齿结构对驱动器驱动稳定性的影响.研究结果表明,弹性支撑机构外置、预弯弹性梁结构以及线性交叠梳齿结构能够有效提高梳齿微驱动器大位移输出的驱动稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐杏林	军械工程学院弹药工程系	90	387	11.0	15.0
2	范志锋	军械工程学院弹药工程系	48	143	6.0	10.0
3	单体强	军械工程学院弹药工程系	14	52	3.0	6.0
4	周晓东	军械工程学院弹药工程系	14	16	2.0	3.0