球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究

• 作者: 张兵临 张武勤 李桢 高金海
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 球状微米金刚石薄膜 场致电子发射 微波等离子体化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: ?材料与器件?
• 页码范围: 877-881
• 页数: 5页
• 分类号: TB383|O484
• 字数: 3512字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20163109.0877

摘要

在纯平的陶瓷衬底上面，利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后，放入微波等离子体化学气相沉积腔中，利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜，通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器，研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等，得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兵临	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
2	李桢	郑州师范学院物理与电子工程学院	28	28	3.0	4.0
3	高金海	郑州师范学院物理与电子工程学院	22	25	3.0	4.0
4	张武勤	郑州师范学院物理与电子工程学院	25	50	5.0	5.0