140GHz多注折叠波导结构的特性与微铣削工艺研究

• 作者: 王亚军 苏伟 颜胜美
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多注 微铣削 140 GHz 折叠波导 传输特性
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 830-837
• 分类号: TN124
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.07.18

摘要

多个电子注是提升THz辐射源输出功率的一种有效办法,折叠波导是一类广泛应用于THz行波管的慢波结构,为此本文对一种三注折叠波导结构进行了研究.首先,完成了该结构冷测特性与注波互作用特性的理论分析,获得了一组优化的结构参数;其次,由于折叠波导结构具有准二维的特点,突破微铣削工艺相关关键技术,完成了该结构的制作;最后,搭建实验测试平台完成了该结构传输特性的测试,并与设计结果进行比较.模拟结果表明:中心频率点在140 GHz、注电压与电流分别为9.55 kV与12mA、输入功率为10 mW时,同单注结构相比,输出功率从1.82提升到了12.73W;电子效率从1.59％高到了3.7％;传输特性的实验值同设计值保持了很好的一致性.该方法为THz行波管输出功率和电子效率的提高提供了新的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚军	中国工程物理研究院电子工程研究所	33	155	7.0	10.0
2	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
3	颜胜美	中国工程物理研究院电子工程研究所	9	29	3.0	5.0