140 GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性

• 作者: 丁桂甫 程萍 谢辅强 赵小林
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 弯折波导 仿真 微加工 测试
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 太赫兹技术
• 页码范围: 142-148
• 页数: 7页
• 分类号: TN124
• 字数: 652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.083101

摘要

对140 GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真.CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140 GHz频率附近色散特性平坦.波导的耦合阻抗在140 GHz时为5Ω左右.CST粒子工作室注波互作用的仿真结果表明该弯折波导在140 GHz处的功率增益为24.6 dB.该弯折波导带状电子注的设计保证了该波导的加工工艺与MEMS微加工工艺兼容.通过SU-8 UV-LIGA工艺实现了对该波导的微型加工.测试结果表明该波导的反射损耗S11与插入损耗S21分别为-28 dB和-1.2 dB.实测的输出功率增益达到23 dB.测试结果和仿真结果的一致性表明该弯折波导设计的合理性,同时也验证了多步SU-8 UV-LIGA工艺可以实现对该波导的高精度加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵小林	上海交通大学电子信息与电气工程学院	56	549	13.0	20.0
2	丁桂甫	上海交通大学电子信息与电气工程学院	60	503	12.0	19.0
3	程萍	上海交通大学电子信息与电气工程学院	12	237	3.0	12.0
4	谢辅强	上海交通大学电子信息与电气工程学院	1	1	1.0	1.0