M5111-6/UM型五管软着陆扩散炉研制

• 作者: 朱奕漪 禹庆荣 许烁烁 谢于柳
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 扩散工艺 减压扩散炉
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 材料制造工艺与设备
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3341字
• 语种: 中文

摘要

M 5111-6/U M型五管软着陆扩散炉用于晶体硅太阳能电池片扩散工艺,具有全自动化、高产能、减压扩散等特点,介绍该型号设备结构组成及性能,并给出了工艺结果,结果表明该设备各方面性能均已达到国内领先水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	禹庆荣	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	43	4.0	6.0
2	谢于柳	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	6	2.0	2.0
3	许烁烁	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	2	1.0	1.0
4	朱奕漪	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	2	1.0	1.0