石英光学元件激光损伤修复形貌的优化

• 作者: 周丽 姜有恩 李学春 范薇 韦辉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光损伤修复 时域有限差分法 瑞利-索末菲衍射积分
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 110-118
• 页数: 9页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0602009

摘要

针对三倍频光学元件后表面的损伤修复形貌,分别采用时域有限差分法(FDTD)和瑞利索末菲(R S)衍射积分法,来模拟不同形貌下元件修复区域内以及其后续的光场分布.结果表明,当修复坑截面轮廓线端点切线与光束传播方向夹角大于70°时,元件内部光强极大值小于1.66,修复效果优于其他角度.夹角为70°、宽200 μm的抛物面型、圆锥型和圆台型凹坑的后续光强极大值小于1.46.但是当修复坑宽度较大如达到1 mm时,圆台型凹坑的后续光强极大值高达9.31,且作用区间长.因此,考虑实际激光修复工艺的难度,夹角大于70°的圆锥型凹坑是石英元件后表面损伤修复的首选形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范薇	中国科学院上海光学精密机械研究所	37	206	8.0	13.0
2	李学春	中国科学院上海光学精密机械研究所	40	182	9.0	12.0
3	周丽	中国科学院上海光学精密机械研究所	28	170	7.0	12.0
4	韦辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	13	78	6.0	8.0
5	姜有恩	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	5	2.0	2.0