压电陶瓷执行器控制方法研究

• 作者: 李六平 李辽斌 李铀
• 来源期刊: 轻纺工业与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 Preisach 非线性 迟滞 补偿
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 科研与生产
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TS183.7+9
• 字数: 2808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0101.2016.03.006

摘要

纳米定位技术是纳米测量、纳米加工的核心技术之一.在纳米定位技术中,应用最为广泛的定位元件是压电陶瓷执行器.现以具有迟滞非线性的压电陶瓷执行器为对象,展开基于压电陶瓷执行器驱动的纳米定位系统的跟踪控制方法研究,使用全局滑模控制方法进行控制.实验表明,所采用的全局滑模控制方法使得压电陶瓷执行器的控制精度得到较大的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李铀		2	0	0.0	0.0
2	李六平		2	0	0.0	0.0
3	李辽斌		3	0	0.0	0.0