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压电陶瓷执行器控制方法研究
压电陶瓷执行器控制方法研究
作者:
李六平
李辽斌
李铀
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
压电陶瓷
Preisach
非线性
迟滞
补偿
摘要:
纳米定位技术是纳米测量、纳米加工的核心技术之一.在纳米定位技术中,应用最为广泛的定位元件是压电陶瓷执行器.现以具有迟滞非线性的压电陶瓷执行器为对象,展开基于压电陶瓷执行器驱动的纳米定位系统的跟踪控制方法研究,使用全局滑模控制方法进行控制.实验表明,所采用的全局滑模控制方法使得压电陶瓷执行器的控制精度得到较大的提高.
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文献信息
篇名
压电陶瓷执行器控制方法研究
来源期刊
轻纺工业与技术
学科
工学
关键词
压电陶瓷
Preisach
非线性
迟滞
补偿
年,卷(期)
2016,(3)
所属期刊栏目
科研与生产
研究方向
页码范围
17-20
页数
4页
分类号
TS183.7+9
字数
2808字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.2095-0101.2016.03.006
五维指标
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李铀
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节点文献
压电陶瓷
Preisach
非线性
迟滞
补偿
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
轻纺工业与技术
主办单位:
广西绢麻纺织科学研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
2095-0101
CN:
45-1379/TS
开本:
大16开
出版地:
广西省南宁市亭洪路43号
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
5134
总下载数(次)
13
总被引数(次)
6939
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