电子回旋共振波等离子体及其应用

• 作者: 巴德纯 殷冀平 蔺增
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子回旋共振波 薄膜沉积 等离子体源 朗缪尔探针
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 324-333
• 页数: 10页
• 分类号: O539
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.03.14

摘要

电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术.与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中的等离子体,能够实现半导体薄膜的低压高速沉积,具有离化率高、放电反应室内无电极、适合大面积薄膜沉积等优点.在实际实验及应用中常使用双电源驱动等离子体放电系统,利用电子回旋共振波原理进行等离子体放电,而使用另一个独立的射频(或者直流)电源系统来驱动等离子体束流的引出,在等离子体放电过程中可实现独立、精确控制离子电流密度和离子能量等参数,在半导体薄膜沉积、精密刻蚀、等离子体源等领域有着重要的应用.本文主要介绍了电子回旋共振波等离子体原理、特点,并结合实验与诊断方法朗缪尔探针等技术来展示其研究应用进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷冀平		1	0	0.0	0.0
2	蔺增		5	22	2.0	4.0
3	巴德纯		6	29	3.0	5.0