熔石英表面杂质元素在酸蚀过程中的变化

• 作者: 严鸿维 李玉香 殷玉春 白阳 袁晓东 郑万国
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 熔石英 静态蚀刻 杂质元素 TOF-SIMS结果 XPS结果
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 17-23
• 页数: 7页
• 分类号: O436|TN244
• 字数: 3557字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.151266

摘要

为了探寻熔石英表面痕量杂质元素种类以及随HF酸蚀刻过程中的变化情况,用质量分数为1％HF酸溶液对熔石英进行长达24,48,72,96 h的静态蚀刻实验.结合飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和X射线光电子能谱(XPS)测试分析结果发现,熔石英试片表面的痕量杂质元素主要含有B,F,K,Ca,Na,Al,Zn和Cr元素,其中绝大部分都存在于贝氏层中,在亚表面缺陷层检测到有K,Ca元素.所含有的K,Na杂质元素会与氟硅酸反应生成氟硅酸盐化合物.分析表明,在HF酸蚀刻的过程中一部分杂质元素将被消除,一部分杂质元素和生成氟硅酸盐化合物会随着蚀刻液逐渐从熔石英表面向表面纵深方向扩散并被试片吸附沉积,且随着深度的加深各元素的相对含量逐渐减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉香	西南科技大学材料科学与工程学院	72	590	13.0	20.0
2	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
3	郑万国	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	106	868	15.0	22.0
4	严鸿维	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	10	9	2.0	2.0
5	白阳	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	2	1.0	1.0
6	殷玉春	西南科技大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0