纳米金刚石薄膜的掺杂与电学性能研究

• 作者: 刘建军 徐辉 胡晓君 陈成克
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 掺杂 电学性能
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3272字
• 语种: 中文

摘要

文章综述了作者近年来在纳米金刚石薄膜掺杂和电学性能等方面的研究工作;阐述了采用离子注入方法及有限热氧化退火处理对纳米金刚石薄膜微结构和电学性能的影响,以及获得的高迁移率 n型电导纳米金刚石薄膜.研究结果对于实现纳米金刚石薄膜在电子器件、电化学电极等领域的应用具有一定的价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐辉	浙江工业大学材料科学与工程学院	3	6	1.0	2.0
2	胡晓君	浙江工业大学材料科学与工程学院	15	47	3.0	6.0
3	陈成克	浙江工业大学材料科学与工程学院	6	4	1.0	1.0
4	刘建军	浙江工业大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0