基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究

• 作者: 吴文涛 徐磊 王振亚
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 光学系统 合轴
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TN206
• 字数: 2768字
• 语种: 中文

摘要

详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐磊	中国电子科技集团公司第五十五研究所	12	6	1.0	2.0
2	王振亚	中国电子科技集团公司第五十五研究所	7	5	1.0	2.0
3	吴文涛	中国电子科技集团公司第五十五研究所	4	4	1.0	2.0