MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计

• 作者: 刘朝阳 唐健 孙殿竣 张卫平 成宇翔 欧彬 赵万良
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微电子机械系统 半球谐振 角速度积分 控制 FPGA
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 40-44
• 分类号: V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2017.01.009

摘要

微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点.文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方法,设计了一种数字式MEMS半球谐振陀螺仪的角速度积分工作模式方案及其FPGA实现方法,以完成目前MEMS半球谐振陀螺的角速度积分模式的控制与检测工作.