新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究

• 作者: 何兆 刘纯亮 张小宁 梁志虎
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共面微腔等离子体阵列 光强分布 放电演变 波动传播
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 418-423
• 页数: 6页
• 分类号: TN136
• 字数: 3582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.04.13

摘要

在厚度为100 μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程.结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,发光光强分布从腔体中心位置逐步向腔体侧壁移动,其发光光谱为588 nm的可见光和312 nm的紫外光.增强电荷耦合器件拍摄的阵列放电瞬时状态表明,在一个方波驱动周期的两次放电中,共面微腔等离子体阵列放电演变呈现出等离子波动传播的现象,且这两次传播方向相反,传播速度均为10~15 km/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘纯亮	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	124	527	9.0	16.0
2	张小宁	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	37	116	6.0	8.0
3	梁志虎	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	30	147	6.0	10.0
4	何兆	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0