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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 不同结构Sm-Co/α-Fe薄膜体系磁性能的研究
    作者： 张军 武国兴 马建春
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  245-249
    摘要： 根据微磁学模拟理论,设置交换耦合双层膜中的Smn-Co硬磁层和α-Fe软磁层薄膜总厚度各自保持不变,通过改变结构来研究其对磁化反转过程和磁性能的影响.结果表明,从双层膜变化到三层膜的过程中,...
  • 2. 大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计
    作者： 孙正文 程敏 艾力·伊沙木丁 许竞 赵斐 马路
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  250-254
    摘要： 针对1.2m口径天文望远镜非球面主反射镜的镀膜问题,建立了大口径非球面镀膜的膜厚分布模型,使用数值分析的方法计算了非球面镀膜相对于球面镀膜的膜厚分布差异.针对非球面镀膜的膜厚均匀性问题,给出...
  • 3. 氧含量对磁控溅射Nb掺杂TiO2薄膜结构与性能的影响
    作者： 林钰 苏雷生 董林 辛荣生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  255-259
    摘要： 采用三靶磁控共溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO2透明导电薄膜.研究了在不同氧含量时薄膜的结构和光电性能.实验结果表明:氧含量的变化能改变Nb掺杂TiO2薄膜晶体的晶粒尺寸、表面形貌、透...
  • 4. 径向磁轴承动态刚度系数及其耦合分析
    作者： 于溯源 沙宏磊 王俊亭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  260-265
    摘要： 为了研究径向磁轴承磁力、磁力矩刚度系数随转子位置、控制电流的变化规律及耦合关系,由磁力线与硅钢片垂直几何关系建立了12磁极径向磁轴承磁力、磁力矩模型,对转子位置变量、控制电流求导得到磁力、磁...
  • 5. Mo薄膜性质及对CIGS形貌和结构的影响
    作者： 于涛 宋斌斌 左宁 张传升 李新连 赵树利 郭凯 陈颉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  266-271
    摘要： 分别用磁控溅射法和共蒸法沉积了Mo和CIGS薄膜.考察了气压和CIGS高温沉积环境对Mo薄膜的影响,研究了Mo基底对CIGS结构和形貌的影响,给出了不同Mo基底上制备的电池效率.结果显示,M...
  • 6. 低浓度氩气对金刚石薄膜的影响及机理研究
    作者： 代凯 易成 王传新 范咏志
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  272-276
    摘要： 提高生长速率是降低金刚石薄膜应用成本的关键因素之一,目前研究的提高速率的方法中以偏压电子增强为主,而该方法不适宜表面复杂的刀具涂层.本文通过在无偏压热丝化学气相沉积沉积金刚石薄膜条件下添加少...
  • 7. 等离子体阵列对电磁波反射的影响
    作者： 刘洋 时家明 曾杰 李志刚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  277-280
    摘要： 等离子体对电磁波会产生反射,利用矢量网络分析仪设计了微波反射测试系统,研究了电磁波正入射等离子体阵列时,电磁波极化方向、电子密度、柱间距等因素对电磁波反射的影响.结果表明本文设计的等离子体阵...
  • 8. 低气压下工频放电等离子体发展特性研究
    作者： 夏喻 李卫国 杨亚奇 袁创业 陈艳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  281-285
    摘要： 为研究低气压下棒-板长间隙工频放电等离子体通道发展过程及外部特征,本研究提出利用自行研制的以聚丙烯为主体的低气压放电腔进行工频放电试验,并分析了800 mm棒-板间隙在100 Pa,200 ...
  • 9. Cl2/Ar/O2环境下使用光刻胶掩膜的感应耦合等离子体(ICP)刻蚀GaAs的研究
    作者： 任晓敏 刘凯 刘昊 吴瑶 段晓峰 王琦 范惠泽 蔡世伟 费嘉瑞 黄永清
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  286-289
    摘要： 自1970年,元件制造首先采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术后,至今30多年,它的发展与集成电路和光电子器件发展密不可分,很大程度上,干法刻蚀的水平决定了整个产业的水平和规模.在本文中,...
  • 10. 高/低气压氩气感应耦合等离子体电磁波衰减效果建模研究及实验验证
    作者： 徐浩军 陈俊霖 魏小龙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  290-297
    摘要： 设计了一种雷达舱共形的电感耦合等离子体(ICP)发生装置,开展了ICP放电的流体模型研究,获得在高低气压及不同放电功率对ICP的电子密度分布的影响,据此得出与电磁散射相关的介电常数空间分布,...
  • 11. 爪型干式真空泵的迷宫密封设计与研究
    作者： 吴竹兵 沈兴全 胡宽辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  298-301
    摘要： 爪型干式真空泵的密封问题是设备故障中最常见的问题,其密封性能好坏直接决定泵能否正常工作.现有的爪型干式真空泵中轴端密封基本上都是采用机械密封、骨架密封或活塞环复合密封,这些密封都属于接触式密...
  • 12. 基于粘度影响的稀薄效应下壁面速度滑移的数学建模
    作者： 宁方伟 杨绍华 裴浩 龙威
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  302-308
    摘要： 以气膜分层理论为基础,根据近壁层、稀薄层、连续流层内分子运动形式,结合层内黏度的变化特征,建立壁面滑移模型,并给出相应的数学表达式.通过LAMMPS和2DMD数值分析的方法,结合实验测试结果...
  • 13. 水压对磁流体水密封寿命的影响
    作者： 何新智 李德才 王虎军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  309-312
    摘要： 为了探索在液体环境下磁流体密封的可行性,本文就水压对磁流体密封寿命的影响进行了研究.理论上推导出由水压引起的两种液体界面圆弧圆心角与界面处剪切力之间关系的解析表达式,设计、安装了密封液体用直...
  • 14. 不同载荷下干磨Cr2O3涂层中金刚石微粒的作用研究
    作者： 丁兰 刘小萍 徐雪波 李灿 鲍明东
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  313-319
    摘要： 纯Cr2O3和含10％金刚石微粒的两种Cr2O3喷涂层与Si3N4陶瓷球组成摩擦副,用摩擦磨损试验机进行不同载荷下的摩擦磨损实验.用型号为Hitachi-4800的扫描电镜和Micro XA...
  • 15. 超快激光加工的微结构界面对DLC薄膜磨损性能影响研究
    作者： 刘星 孙刚 张伟 马国佳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  320-326
    摘要： 采用飞秒超快激光在GCr15轴承钢基体表面上制备了条纹、方格结构,并研究对类金刚石(DLC)薄膜结构、结合强度和耐磨性能影响.利用Raman光谱、扫描电镜、白光干涉形貌仪分析薄膜化学结构及形...
  • 16. 真空碳热还原法处理铅银渣热力学分析及实验研究
    作者： 刘贵阳 孔馨 孙红燕 森维 陈昌兴
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  327-331
    摘要： 采用湿法炼锌产出的铅银渣作为实验原料,首次提出利用真空碳热还原法处理铅银渣以回收其中的金属铅.系统研究了冷凝产物的物相随还原温度、配碳比及还原剂的种类的变化而变化的基本规律.通过对碳热还原铅...
  • 17. 多孔二氧化钛制备及其钙热还原的研究
    作者： 刘大春 徐宝强 徐彬彬 杨国波 杨斌 郭许涛 雷现军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  332-340
    摘要： 提出了多孔钛制备的新方法,先采用占位体法制备出具有一定孔结构的二氧化钛,而后通过钙蒸气还原、浸出,获得多孔钛.借助X射线衍射、扫描电镜、X射线能谱仪、压汞仪等检测手段分别考察了造孔剂种类、造...
  • 18. 一种宽频带RF MEMS开关的设计研究
    作者： 张斌珍 徐苏坪 段俊萍 王雄师
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2017年3期
    页码:  341-344
    摘要： 针对现阶段常用的射频微机电系统(RF MEMS)开关频带窄和稳定性差这个特点,本文提出了一种结型梁RFMEMS开关,该微结构采用了的共面波导线的传输线形式以便于与其他器件串并联,使用结型梁增...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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