原子层沉积增强微纳结构硅电池的光电性能

• 作者: 敖献煜 杨秧 王饮
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅微纳结构 原子层沉积 氧化铝 钝化 铝掺杂氧化锌 透明电极
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 材料学
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: O482.7
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6054/j.jscnun.2017002

摘要

采用原子层沉积技术在硅表面沉积氧化铝(Al2O3)作为钝化层、掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为透明电极,将其应用于有金字塔结构和黑硅结构的光伏电池.通过对反射光谱、电流-电压(J-V)曲线、外量子效率等测试,比较平面硅、金字塔绒面硅和黑硅3种不同材料结构电池的光电性能.通过在金字塔结构硅表面沉积10次循环的Al2O3作为钝化层,180 nm厚的AZO作为透明电极,光电转换效率达到11.23％,短路电流28.72 mA/cm2,开路电压0.548 V,填充因子0.71.将该钝化层和透明电极应用于黑硅电池上获得了8.89％的光电转换效率.结果表明,掺铝氧化锌作为透明电极、Al2O3作为钝化层,对微纳结构硅电池性能有明显提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王饮	华南师范大学华南先进光电子研究院	1	1	1.0	1.0
2	杨秧	华南师范大学华南先进光电子研究院	1	1	1.0	1.0
3	敖献煜	华南师范大学华南先进光电子研究院	1	1	1.0	1.0