射频离子源朗缪尔双探针设计

• 作者: 刘智民 李京勇 胡纯栋 谢亚红 陈俞钱 顾玉明
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 朗缪尔探针 等离子体 射频 谐振电路
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 484-487
• 页数: 4页
• 分类号: TL65+6
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.05.08

摘要

射频离子源具有的复杂电磁环境会干扰甚至使得朗缪尔单探针无法准确获得等离子体参数.双探针具有对等离子体的干扰较小,不需要参考电位等优点,因此更加适用于射频离子源下的等离子体诊断.为了使得朗缪尔双探针更加精确地测量电子温度与离子密度,必需在测量电路中增加针对干扰源频率的滤波电路系统.本文针对射频离子源等离子体诊断设计了探针测量电路,并进行了仿真计算和分析,结果表明:探针的抗干扰能力与测量精度均具有明显的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡纯栋	中国科学院等离子体物理研究所	103	365	10.0	12.0
5	谢亚红	中国科学院等离子体物理研究所	24	63	5.0	7.0
6	刘智民	中国科学院等离子体物理研究所	36	131	8.0	9.0
10	陈俞钱	中国科学院等离子体物理研究所	4	6	1.0	2.0
11	李京勇	中国科学院等离子体物理研究所	1	0	0.0	0.0
15	顾玉明	中国科学院等离子体物理研究所	2	0	0.0	0.0