锆钛酸钡钙铁电薄膜的制备及性能研究

• 作者: 王旭 邓朝勇 邓洋琴
• 来源期刊: 贵州科学
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 退火工艺 微观结构 电学性能
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 化学科学
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2440字
• 语种: 中文

摘要

利用溶胶-凝胶(sol-gel)法,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备出无铅钙钛矿结构薄膜Ba0.8 Ca0.2-Zr0.05 Ti0.95 O3.溶胶液旋涂后进行前烘时,温度由室温缓慢上升至200℃有利于得到表面较为平整的薄膜.通过XRD、铁电测试仪和AFM对薄膜微观结构及电学性能进行表征,研究退火温度、退火时间等退火工艺对薄膜晶体结构与电学性能的影响.实验结果表明在退火温度和退火时间分别为700C、11 min时,得到具有饱和极化值、剩余极化值分别为19.6.μC/cm2和5.6 μC/cm2的BCZT钙钛矿结构铁电薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王旭	贵州大学大数据与信息工程学院	47	189	7.0	11.0
2	邓朝勇	贵州大学大数据与信息工程学院	62	194	9.0	12.0
3	邓洋琴	贵州大学大数据与信息工程学院	1	0	0.0	0.0