UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响

• 作者: 孔南 席占稳 曹云 王炅 聂伟荣
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) UV-LIGA 工艺误差 万向惯性开关 阈值
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 1815-1823,1833
• 页数: 10页
• 分类号: TH161.5
• 字数: 5650字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2017.09.016

摘要

为提高微机电系统(MEMS)万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机,进行主要结构尺寸测量,并确定工艺误差方向;从UV-LIGA工艺过程的曝光、显影与电铸、腐蚀3个阶段,分析误差的产生机理,并进一步分析单一结构误差、非对称误差和偏心误差对开关阈值和接触时间的影响.结果表明:弹簧线宽、厚度、侧壁倾角和两电极间隙等单一结构尺寸的增大会导致阈值增大;非对称误差会导致开关各向刚度不一致,使阈值散布更大;偏心误差会大幅度减小开关轴向阈值,而对径向阈值影响较小.对多个开关样机的测试结果验证了开关工艺误差及单一结构误差对阈值影响的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	席占稳	南京理工大学机械工程学院	39	202	8.0	13.0
2	聂伟荣	南京理工大学机械工程学院	52	260	9.0	12.0
3	王炅	南京理工大学机械工程学院	114	764	14.0	20.0
4	曹云	南京理工大学机械工程学院	3	3	1.0	1.0
5	孔南	南京理工大学机械工程学院	2	3	1.0	1.0