MEVVA源离子注入机控制系统的实现

• 作者: 刘伟 张敬敏 李弥 江海 魏鑫
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: MEVVA离子源 离子注入 自动控制 束流自动调节
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 142-144
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 3161字
• 语种: 中文

摘要

通过分析MEVVA离子源的电气特性,提出离子注入机控制系统的特殊要求,在此基础上设计实现了基于PLC的控制系统.介绍了控制系统组成,重点介绍了自动调束的方法和流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江海		6	4	1.0	1.0
2	魏鑫		8	64	4.0	8.0
3	张敬敏		5	11	2.0	3.0
4	刘伟		3	58	1.0	3.0
5	李弥		5	8	2.0	2.0