热处理气氛对溶胶-凝胶法Al∶ZnO膜特性的影响

• 作者: 周海峰 娄有信 张莹 杨子 沈建兴 赵玉军 闫明姝
• 来源期刊: 齐鲁工业大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO 溶胶-凝胶 薄膜 微观结构
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16442/j.cnki.qlgydxxb.2017.02.006

摘要

文中采用溶胶-凝胶旋涂技术在玻璃衬底上制备Al∶ZnO薄膜(AZO).在500 ℃条件下,利用氮气和氢气两种气氛分别对样品进行热处理,并对热处理后的薄膜特性进行研究.结果表明,上述两种气氛下所制薄膜都具有六方纤锌矿结构与C轴择优取向性;扫描探针显微结果表明,氮气气氛下薄膜形貌呈金字塔形,与氢气气氛所制薄膜差异明显;紫外可见光透射光谱图结果表明,氢气气氛下所制薄膜可见光透过率超过60%,高于氮气气氛所制样品,这可能与薄膜表面形貌有关.