膜厚对溶胶-凝胶法制备Al、Ga共掺杂ZnO薄膜性能的影响

• 作者: 叶林龙 孙宜华 方亮 汪涛 程志敏 黄龙
• 来源期刊: 三峡大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶旋涂法 薄膜厚度 GAZO薄膜 光电性能
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 化学与生命科学
• 页码范围: 91-95
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13393/j.cnki.issn.1672-948X.2018.03.020

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备不同膜厚的Al、Ga共掺杂透明导电 ZnO 薄膜.其他参数一定的情况下,通过控制旋涂次数得到不同厚度的薄膜,研究了薄膜厚度对 GAZO 薄膜的物相结构、表面形貌以及光电性能的影响.实验结果表明:所制备的 GAZO 薄膜均为六方纤锌矿结构多晶薄膜.随着膜厚的增加,GAZO 薄膜(002)衍射峰强度增强,晶粒尺寸变大,薄膜结晶质量提高.在可见光范围内薄膜的平均光学透过率大于88%,薄膜电阻率随膜厚的增加逐渐减小.膜厚为10层(250 nm)的GAZO 薄膜光电综合性能最佳,其平均光学透过率高达98.5%,电阻率为4.9×10-3 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙宜华	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	15	53	4.0	7.0
2	方亮	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	4	3	1.0	1.0
3	程志敏	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	1	1	1.0	1.0
4	叶林龙		1	1	1.0	1.0
5	黄龙	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	1	1	1.0	1.0