一种大量程压力传感器的结构优化设计与仿真分析

• 作者: 杨恒山 聂萌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 大量程 线性 抗过载 有限元分析
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1834-1838
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.009

摘要

设计了一种大量程硅压阻式压力传感器,通过理论模型分析优化传感器结构尺寸,保证薄膜的线性变化和抗过载能力;并通过有限元建模分析可动薄膜位移及应力随压力变化关系,对结构进行优化设计;同时用有限元仿真验证理论分析的正确性.通过理论与仿真优化分析,提出了采用C型膜片一体化硅压阻式压力传感器结构,可动薄膜选用方膜边长为1000μm,厚度为50μm,实现0~2 MPa的压力测量.