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摘要:
近年来,人们不断深入研究并开发太阳能资源,对原材料的需求也在不断提高,从而促进了多晶硅行业的发展.通过改进并创新多晶硅生产工艺技术,使多晶硅生产过程中不但提升了生产的效率和质量,同时还降低了一定量的成本.因此,改良西门子法成为目前生产多晶硅技术中最成熟、扩展速度最快、应用最广泛的技术.本文对改良西门子法生产多晶硅过程中各个程序进行分析,希望能为众多工业行业生产人员提供一定的帮助.
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文献信息
篇名 西门子法生产多晶硅工艺设计改良分析
来源期刊 化工时刊 学科
关键词 西门子法 多晶硅生产工艺 设计改良
年,卷(期) 2017,(8) 所属期刊栏目 论文综述
研究方向 页码范围 35-37
页数 3页 分类号
字数 2100字 语种 中文
DOI 10.16597/j.cnki.issn.1002-154x.2017.08.012
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
西门子法
多晶硅生产工艺
设计改良
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
化工时刊
月刊
1002-154X
32-1320/TQ
大16开
南京四牌楼东南大学五五楼四楼
28-256
1987
chi
出版文献量(篇)
5007
总下载数(次)
19
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