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西门子法生产多晶硅工艺设计改良分析
西门子法生产多晶硅工艺设计改良分析
作者:
施晨鹏
杨凯
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
西门子法
多晶硅生产工艺
设计改良
摘要:
近年来,人们不断深入研究并开发太阳能资源,对原材料的需求也在不断提高,从而促进了多晶硅行业的发展.通过改进并创新多晶硅生产工艺技术,使多晶硅生产过程中不但提升了生产的效率和质量,同时还降低了一定量的成本.因此,改良西门子法成为目前生产多晶硅技术中最成熟、扩展速度最快、应用最广泛的技术.本文对改良西门子法生产多晶硅过程中各个程序进行分析,希望能为众多工业行业生产人员提供一定的帮助.
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文献信息
篇名
西门子法生产多晶硅工艺设计改良分析
来源期刊
化工时刊
学科
关键词
西门子法
多晶硅生产工艺
设计改良
年,卷(期)
2017,(8)
所属期刊栏目
论文综述
研究方向
页码范围
35-37
页数
3页
分类号
字数
2100字
语种
中文
DOI
10.16597/j.cnki.issn.1002-154x.2017.08.012
五维指标
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
西门子法
多晶硅生产工艺
设计改良
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
化工时刊
主办单位:
东南大学
出版周期:
月刊
ISSN:
1002-154X
CN:
32-1320/TQ
开本:
大16开
出版地:
南京四牌楼东南大学五五楼四楼
邮发代号:
28-256
创刊时间:
1987
语种:
chi
出版文献量(篇)
5007
总下载数(次)
19
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