直方图法在薄膜厚度测量上的应用研究

• 作者: 刘静 孟政 汪洪
• 来源期刊: 建筑玻璃与工业玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜厚度 直方图法 厚度测量 应用 标准样品 触针式轮廓仪 台阶高度 测试数据
• 年，卷（期）: jzblygybl_2017,（5）
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TS803.1

摘要

薄膜厚度是薄膜测试领域中非常重要的参数，利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据（标准样品、制备样品）得到台阶高度，是获取薄膜厚度的方法之一。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析，发现直方图法能够有效避免人为因素的影响，适用于10nm以上的薄膜厚度的测量，是目前最适于定为薄膜厚度测试标准的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘静		28	109	6.0	10.0
2	汪洪		20	35	3.0	5.0
3	孟政		10	17	2.0	4.0