基于反射谱的GaN薄膜厚度在线测量系统

• 作者: 张永刚
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: GaN Si衬底 反射谱 厚度测量
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: IC工程
• 页码范围: 56-57
• 页数: 2页
• 分类号: TN407
• 字数: 1910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2004.12.029

摘要

针对Si衬底不透明而无法采用透射谱测量GaN薄膜厚度问题,应用反射谱测量,同时结合晶体薄膜的干涉效应原理,并考虑到晶体折射率随光子能量变化的因素,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法,从而得到实现材料特性的方便表征和MOCVD设备的在线薄膜厚度测量的新途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永刚	西安电子科技大学微电子研究所	1	5	1.0	1.0