基于透射谱的GaN薄膜厚度测量

• 作者: 冯倩 张进城 李培咸 范隆 郝跃
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: GaN 透射谱 厚度测量
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 1243-1246
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.04.049

摘要

通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析,结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法.实际应用表明,该方法是一种快速准确的GaN薄膜厚度测量方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	张进城	西安电子科技大学微电子研究所	52	301	9.0	14.0
3	冯倩	西安电子科技大学微电子研究所	35	224	7.0	13.0
4	李培咸	西安电子科技大学微电子研究所	36	324	10.0	17.0
5	范隆	西安电子科技大学微电子研究所	8	107	5.0	8.0