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硅烷热解多晶硅气相沉积反应模型分析与验证
硅烷热解多晶硅气相沉积反应模型分析与验证
作者:
樊友雯
陈彩霞
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅烷
多晶硅
硅微粉
数值模拟
摘要:
在综述现有硅烷热解反应机理的基础上,针对Ho等人提出的气相和表面反应机理,采用二维边界层反应模型和CHEMKIN软件,对水平单基片CVD反应器进行模拟分析,计算结果与文献报道的实验数据拟合良好;通过改变硅烷进气浓度和进气温度,分析沉积速率的变化和各表面反应的贡献率,得到硅微粉再沉积过程随浓度和温度的变化规律;使用上述机理模型,计算了硅烷流化床对应的操作温度和硅烷浓度条件下的沉积速率,与文献报道测量结果比较,误差在合理范围,表明该机理适用于硅烷流化床化学气相沉积过程的CFD耦合模拟.
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文献信息
篇名
硅烷热解多晶硅气相沉积反应模型分析与验证
来源期刊
人工晶体学报
学科
物理学
关键词
硅烷
多晶硅
硅微粉
数值模拟
年,卷(期)
2017,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
197-203
页数
7页
分类号
O734
字数
4597字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
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1
陈彩霞
华东理工大学资源与环境工程学院煤气化及能源化工教育部重点实验室
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樊友雯
华东理工大学资源与环境工程学院煤气化及能源化工教育部重点实验室
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主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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