移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定

• 作者: 姜岩秀 宋莹 巴音贺希格 赵旭龙 齐向东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 全息与信息处理
• 页码范围: 227-234
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0509001

摘要

为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法.采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整.通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测器的最佳探测位置.结合分光及相位调整功能,给出了分束光栅参数的设计方法.针对光栅曝光特点设计了控制器.从理论上对比了分束光栅与压电反射镜的相位调整性能.实验结果表明,采样频率为500 Hz时,干涉条纹的低频漂移得到有效抑制,相位锁定精度达到0.13 rad (3σ),即条纹漂移量低于士0.021个周期.该方法可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,提高曝光对比度.且分束光栅偏转对条纹周期影响小,相位调整性能仅与分束光栅参数相关,便于光路设计.