PZT铁电薄膜的低温制备及其微图形加工

• 作者: 李祯 王晓芳 赵琴
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: PZT 溶胶-凝胶法 铁电性 微加工
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 167-170
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜具有高的剩余极化强度和机电耦合系数,是制备各种传感器和存贮器优良的功能材料.在器件的制备工艺中,需要将PZT铁电膜沉积到单晶Si基板上,但是,PZT过高的结晶温度会严重地破坏Si基板.为了降低PZT的结晶温度,使用紫外光辅助热处理技术对PZT前驱体薄膜进行预处理,可以将PZT的结晶温度降低至475℃,从而实现PZT薄膜的低温制备.在紫外光的预处理过程中,通过光源与PZT膜中的有机基团发生光化学作用,从而形成不溶于溶剂的活性单体,通过溶剂的清洗,可以实现对前驱体膜的微加工,形成PZT阵列,为制备高密度存贮器所需要的逻辑阵列提供了有意义的探索.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓芳		51	93	6.0	7.0
2	李祯		17	9	2.0	3.0
3	赵琴		12	7	2.0	2.0