休斯光刻机汞灯电源的原理与维修技术研究

• 作者: 刘涛 熊征南 蔡颖岚
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 休斯光刻机 汞灯电源 工作原理与维修技术 研究分析
• 年，卷（期）: 2017,（44）
• 所属期刊栏目: 工程技术
• 页码范围: 79
• 页数: 1页
• 字数: 1852字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0843.2017.44.079

摘要

由于汞灯所具备的亮度强以及电弧密度较大等的优点,其已经被广泛应用到了微电子光刻等方面.但是因为汞灯在发光的过程中受到环境中温度和电压强度的影响较大,故而在所有的光刻设备中属于容易发生故障的器件.有相关人员对汞灯光源的电路控制原理以及电路功率进行了分析,且详细阐述了其在恒定功率和光强下电路的工作原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡颖岚		8	1	1.0	1.0
2	刘涛		1	0	0.0	0.0
3	熊征南		1	0	0.0	0.0