一种专门用于刀具的热丝CVD金刚石

• 作者: 刘晓 李卫 杨成武
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石厚膜 孔洞缺陷 金刚石刀具
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2880字
• 语种: 中文

摘要

介绍了CVD金刚石厚膜的不同生长工艺的优缺点,并采用新型热丝CVD工艺生长出金刚石.新工艺生长出的热丝CVD金刚石具有成核密度高、晶粒细小、组织致密、孔洞缺陷和杂质少等优点,是CVD金刚石刀具的理想材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨成武		1	1	1.0	1.0
2	刘晓		1	1	1.0	1.0
3	李卫		1	1	1.0	1.0