基于干涉法的非球面测量技术

• 作者: 宁妍 胡摇 郝群
• 来源期刊: 计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面检测 干涉检测 零位检验法 非零位检验法
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 专题评述及热点追踪
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TH742
• 字数: 6498字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11823/j.issn.1674-5795.2018.01.01

摘要

随着光学精密加工技术的发展,非球面光学元件在各种光学系统中广泛应用,高精度非球面检测技术对非球面光学元件的发展意义重大.论述了基于干涉法的非球面面形误差检测技术.根据检测原理,分别对零位干涉检验法与非零位干涉检验法进行了详细介绍.概述了近年来主流的非球面检测技术现状,展望了非球面面形检测技术的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝群	精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京理工大学光电学院	1	5	1.0	1.0
2	宁妍	精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京理工大学光电学院	1	5	1.0	1.0
3	胡摇	精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京理工大学光电学院	1	5	1.0	1.0