用偏振移相共路剪切干涉仪测量光学非球面

• 作者: 王平 董文勇
• 来源期刊: 北京工商大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面 剪切干涉 偏振移相
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1513.2003.03.012

摘要

现代光学系统中大量使用了非球面元件,光学非球面表面面形精度要求高,一般不低于λ/4(λ=0.683 2μm),使得加工与检测难度极高.本文介绍了一种用于测量光学非球面透镜的偏振移相剪切干涉方法和数据处理方法,该系统具有测量精度高、调整方便、测量速度快、操作简单、对外界干扰不敏感等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王平	北京理工大学信息科学技术学院	15	123	6.0	11.0
2	董文勇	北京理工大学信息科学技术学院	1	2	1.0	1.0