半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸储存方法研究

• 作者: 万群平 曹武亮 杨涛
• 来源期刊: 有机氟工业
• 关键词: 半导体晶圆 UPSS电子级氢氟酸 新型特殊自呼吸装置
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 科学研究与技术开发
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸在储存过程中容易受到污染且储存周期短,为2～3d.从储存设备的内衬材质和新型特殊自呼吸装置两方面进行了研究.通过选择内衬材质和新型特殊自呼吸装置,成功解决了金属离子不断释放污染产品的问题,并延长储存周期至30d.