一种耐高温、耐恶劣环境大压力传感器的设计

• 作者: 吴凌慧 徐冬
• 来源期刊: 应用科技
• 学科: 工学
• 关键词: 耐高温 大压力 有限元分析 传感器 SOI膜片 力敏电阻条 优化设计 过载试验
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 机电工程
• 页码范围: 142-146
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11991/yykj.201709015

摘要

为了解决高温恶劣环境下压力测量问题,设计了一种大压力、高过载、耐高温、耐恶劣环境的小体积压差传感器.通过有限元分析对传感器绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)压力敏感膜片结构进行优化设计,使其能够满足恶劣环境的使用要求.通过试验证明这种压差传感器具有良好的耐高温、耐恶劣环境的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐冬	中国电子科技集团公司第四十九研究所	11	28	4.0	4.0
2	吴凌慧	中国电子科技集团公司第四十九研究所	7	15	3.0	3.0