高可靠性压力传感器的设计方法

• 作者: 史岩峰 张艳华 王强 陈玉玲
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高可靠性 压力传感器 SOI 温度补偿 环境试验
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器及非电铃检测技术
• 页码范围: 109-113
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.11|TN705
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.1701035

摘要

为了满足工程领域对高可靠传感器的实际需求,提出了高可靠性压力传感器的设计方法,该设计方法包括敏感元件设计、整机结构设计和电路设计.敏感元件芯片为SOI芯片,结构为隔离密封结构,装配工艺成熟可靠;敏感元件通过电子束焊接技术固定连接,传感器密封强度大;电路设计采用基于MAX1452的温度补偿方法,输出温度漂移小.最后,传感器通过性能测试以及环境试验的考核,试验结果表明采用该方法设计的传感器能够满足实际使用要求.传感器在150℃下零点温度漂移和灵敏度温度漂移均小于±0.1％/℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈玉玲		8	20	3.0	4.0
2	史岩峰		7	9	2.0	2.0
3	张艳华		5	19	3.0	4.0
4	王强		1	0	0.0	0.0