甩干机隔振系统设计及实验研究

• 作者: 刘盈楹 张伟锋 王丽江 王勇威 胡天水
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 甩干机 隔振 橡胶减振器
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 62-66
• 页数: 5页
• 分类号: TH132
• 字数: 3013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.02.015

摘要

甩干机是半导体加工工艺中的关键设备,在甩干机高速运行过程中,由于转子系统的偏心所产生的离心力将导致设备振动.为将振源隔离,提高设备可靠性,对整机的振动情况和振动传递路径进行了分析,再通过分析隔振理论及橡胶减振器的性能特征,最后为某型甩干机选取合理的橡胶减振器参数;通过实验测试表明其隔振效果达到了预期要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟锋	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	2	1.0	1.0
2	王勇威	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	0	0.0	0.0
3	胡天水	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0
4	王丽江	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0
5	刘盈楹	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0