去Co深度及薄膜厚度对金刚石薄膜-硬质合金附着力的影响

• 作者: 刘伟 易剑 杨自立 江南 满卫东 邓全
• 来源期刊: 硬质合金
• 关键词: 金刚石薄膜 硬质合金 去Co深度 薄膜厚度 附着力
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 86-94
• 页数: 9页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2018.02.003

摘要

金刚石薄膜与基体的附着力是影响CVD金刚石薄膜涂层刀具使用寿命的关键因素,沉积金刚石薄膜的膜-基附着力主要受硬质合金基体表面Co含量的影响.本文通过控制酸碱两步法中的酸处理时间及薄膜沉积时间,利用扫描电子显微镜、能谱仪、拉曼光谱仪、划痕测试仪等对样品进行分析检测,研究基体去Co深度及薄膜沉积厚度对金刚石薄膜的膜-基附着力的影响.结果表明:随着去Co深度的增加,膜-基附着力先增后降,但薄膜表面和截面形貌无明显变化,表明薄膜形貌主要受沉积参数影响;随着薄膜厚度增加,薄膜晶粒变大,膜-基附着力先增高后降低.去Co深度为7.1μm,薄膜厚度为19.5μm时所得薄膜的膜-基附着力最高,达到88.82 N.