Cr基过渡层对钛合金表面类金刚石薄膜摩擦学性能的影响

• 作者: 何浩然 王佳 王军军 王林青 王汝强 陈环谷 黄伟九
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 梯度过渡层 结合力 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 61-67
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.444|TG115.58
• 字数: 4706字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20180108003

摘要

采用磁控溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)表面制备Cr、Cr/CrN和Cr/CrN/CrNC过渡层结构的类金刚石(DLC)薄膜.采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪与原子力显微镜分析薄膜的结构和表面形貌,利用纳米压痕仪、薄膜内应力测试仪、划痕测试仪、摩擦试验机和二维轮廓仪研究薄膜的硬度、内应力、结合力和摩擦磨损性能.结果表明:随着Cr基梯度过渡层的引入,DLC薄膜的内应力逐渐下降,结合力逐渐上升.Cr/CrN/CrNC/DLC薄膜具有优异减摩抗磨性能,摩擦因数和磨损率低至0.09±0.02和(1.89±0.15)×10 7 mm3/N.m.试验结果对钛合金表面高性能DLC薄膜制备及应用具有一定的参考价值和指导意义.