PDMS基体等离子法键合工艺及效果分析

• 作者: 俞天 崔东旭 张若愚 戴隆超
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子法 正交试验 不可逆键合 键合效果
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 792-796
• 页数: 5页
• 分类号: TH706
• 字数: 3221字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13433/j.cnki.1003-8728.2018.0520

摘要

为探究聚二甲基硅氧烷(PDMS)基体在等离子法下以不同工艺参数处理及处理后在不同键合时间,键合加载压力下的PDMS-PDMS键合效果,设计进行了3因素4水平正交试验及对比试验.试验结果表明:因素影响从主到次的顺序为空气流量、改性时间、射频功率,得到快速不可逆键合(键合5 min)工艺参数:400 W,2.5 L/min,2 min;中、高射频功率(300 W以上)键合10 h键合效果达到实验要求,低射频功率(200 W以下)键合超过24h仍未达到试验要求;当键合加载压力超过0.4 MPa时,键合效果显著提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴隆超	扬州大学机械工程学院	11	11	2.0	3.0
2	俞天	扬州大学机械工程学院	2	1	1.0	1.0
3	张若愚	扬州大学机械工程学院	3	1	1.0	1.0
4	崔东旭	扬州大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0