约束式热丝CVD法制备金刚石的研究

• 作者: 代凯 王传新 王涛 许青波
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 约束空间 生长速率
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2686字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2018.4.0001

摘要

为提高热丝CVD法沉积金刚石薄膜的生长速率,以丙酮和氢气作为反应气源,利用自制的半封闭式空间约束装置,将热丝、衬底、反应气体聚集在狭小空间内,研究不同气体流速条件下的金刚石薄膜沉积情况;使用SEM和Raman光谱表征所合成的薄膜.结果表明:采用约束式沉积法可以显著提高沉积速率,本实验在230 cm3/min(标况)气体流速下获得最大沉积速率6.31μm/h,比未约束时增大了近一倍.随着气体流速增大,沉积速率先增大后减小;气体流速86～115 cm3/min(标况)时,晶粒尺寸为微米级;气体流速115～575 cm3/min(标况)时,晶粒尺寸减小至纳米级.Raman光谱检测显示:约束式沉积所得薄膜总体质量较好,但随气体流速增大而逐渐降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王传新	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学新材料湖北省重点实验室	34	121	6.0	8.0
2	王涛	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学新材料湖北省重点实验室	27	88	5.0	8.0
3	许青波	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学新材料湖北省重点实验室	3	5	2.0	2.0
4	代凯	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学新材料湖北省重点实验室	4	8	2.0	2.0