单晶硅线切割液润滑性能的研究

• 作者: 刘军 吴珉 宋扬扬 张晨晖 张瑞
• 来源期刊: 化学工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 切割液 润滑性能 线切割 植物油改性润滑剂
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 工程师园地
• 页码范围: 65-67
• 页数: 3页
• 分类号: TQ164
• 字数: 1785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16247/j.cnki.23-1171/tq.20180165

摘要

重点研究了单晶硅片切割用水基切割液中润滑剂的摩擦性能影响因素.研究了不同种类水基润滑剂的摩擦学性能.结果表明:在使用自制植物油改性润滑剂,使用浓度为万分之七的情况下,具备优异的润滑性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张瑞		14	21	3.0	3.0
2	刘军		13	20	3.0	3.0
3	张晨晖		4	6	1.0	2.0
4	宋扬扬		12	17	2.0	3.0
5	吴珉		4	2	1.0	1.0